[发明专利]上电极组件及反应腔室

权利要求书

1.一种上电极组件，包括介质桶、环绕在所述介质桶周围的线圈以及用于冷却所述介质桶的冷却机构，其特征在于，所述冷却机构包括冷却通道，所述冷却通道位于所述线圈的内侧，通过向所述冷却通道内通入冷却介质，来冷却所述介质桶；并且所述冷却通道被设置为：使通入其内的冷却介质直接与所述介质桶相接触；

所述冷却通道具有分别用于输入和输出冷却介质的入口和出口。

2.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却机构包括环形的冷却部件，所述冷却部件采用绝缘材料制作，且环绕设置在所述介质桶的外周壁上，并且位于所述线圈的内侧；

在所述冷却部件的内周壁上形成有环形凹部，所述环形凹部与所述介质桶的外周壁组成所述冷却通道；

所述入口和出口为相对设置在所述冷却部件的外周壁上、且与所述冷却通道相连通的两个通孔；

在所述冷却部件的内周壁与所述介质桶的外周壁之间、且分别位于所述冷却通道的上方和下方设置有密封圈，用于对所述冷却通道进行密封。

3.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却机构包括环形的冷却部件，所述冷却部件采用绝缘材料制作，且环绕设置在所述介质桶的外周壁上，并且位于所述线圈的内侧；

在所述介质桶的外周壁上形成有环形凹部，所述环形凹部与所述冷却部件的内周壁组成所述冷却通道；

所述入口和出口为相对设置在所述冷却部件的外周壁上、且与所述冷却通道相连通的两个通孔；

在所述冷却部件的内周壁与所述介质桶的外周壁之间、且分别位于所述冷却通道的上方和下方设置有密封圈，用于对所述冷却通道 进行密封。

4.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却机构包括环形的冷却部件，所述冷却部件采用绝缘材料制作，且环绕设置在所述介质桶的外周壁上，并且位于所述线圈的内侧；

分别对应地在所述介质桶的外周壁和所述冷却部件的内周壁上形成有两个环形凹部，所述两个环形凹部对接组成所述冷却通道；

所述入口和出口为相对设置在所述冷却部件的外周壁上、且与所述冷却通道相连通的两个通孔；

在所述冷却部件的内周壁与所述介质桶的外周壁之间、且分别位于所述冷却通道的上方和下方设置有密封圈，用于对所述冷却通道进行密封。

5.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，在所述介质桶的桶体内部形成有环形空腔，所述环形空腔用作所述冷却通道；

所述入口和出口为相对设置在所述介质桶的外周壁上、且与所述冷却通道相连通的两个通孔。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的上电极组件，其特征在于，所述入口的数量为一个或多个，且多个所述入口沿所述介质桶的轴向间隔设置；

所述出口的数量和位置与所述入口的数量和位置一一对应。

7.根据权利要求6所述的上电极组件，其特征在于，还包括冷却管路和冷却介质源，其中，

所述冷却管路包括主路和至少一个支路，所述支路的数量与所述入口的数量相对应，且各个支路的输出端一一对应地与各个入口连接，各个支路的输入端均与所述主路的输出端连接；所述主路的输入端与所述冷却介质源连接；

所述冷却介质源用于提供冷却介质。

8.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，还包括测温单元、控制单元和流量调节单元，其中，

所述测温单元用于实时检测所述介质桶的实际温度，并将其发送至所述控制单元；

所述控制单元用于根据所述实际温度和预设的目标温度进行计算，而获得所述冷却介质的所需流量值，并根据该所需流量值向所述流量调节单元发送控制信号；

所述流量调节单元用于根据所述控制信号将通入所述冷却通道内的冷却介质的流量调节至所述所需流量值。

9.根据权利要求1所述的上电极组件，其特征在于，所述冷却介质包括冷却水、冷却液或者冷却气体。

10.一种反应腔室，在所述反应腔室的顶部设置有上电极组件，用于激发所述反应腔室内的反应气体形成等离子体，其特征在于，所述上电极组件采用权利要求1-9任意一项所述的上电极组件。