[发明专利]超纯水制备系统的清洗灭菌方法

摘要

本发明涉及超纯水制备系统的清洗灭菌方法，其特征在于：在对包括超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接上述超纯水制备装置和上述使用点的超纯水流路的超纯水制备系统进行清洗和灭菌的方法中，将下述清洗灭菌步骤进行2次以上：将系统内至少一部分用碱性溶液清洗的碱清洗步骤，以及该碱清洗后用灭菌水灭菌的灭菌步骤。通过将清洗灭菌步骤进行2次以上，可以高效率地除去超纯水制备系统内的金属、有机物、微粒、活菌，可以在清洗灭菌后在短时间内制备满足要求水质的超纯水。

主权项

一种清洗灭菌方法，其是超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接超纯水制备装置和使用点的超纯水流路的内部的至少一部分的清洗灭菌方法，该方法具有：将超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接它们的超纯水流路的内部的至少一部分用碱性溶液清洗的碱清洗步骤，在碱清洗步骤完成之后立即用1次纯水或超纯水冲洗超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及超纯水流路的内部的至少一部分的碱性溶液的第1冲洗步骤，该第1冲洗步骤后将超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接它们的超纯水流路的内部的至少一部分用灭菌水灭菌的灭菌步骤，以及在灭菌步骤完成之后立即用作为冲洗水的1次纯水或超纯水冲洗超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及超纯水流路的内部的至少一部分的灭菌水的第2冲洗步骤，其中，包含该碱清洗步骤、第1冲洗步骤、灭菌步骤和第2冲洗步骤的一系列步骤进行2次以上，整个步骤的最初步骤是碱清洗步骤，整个步骤的最终步骤是第2冲洗步骤，上述灭菌水是温度为60℃以上的1次纯水或超纯水形成的温纯水，或者过氧化氢浓度为0.01‑10重量％、温度为10‑50℃的过氧化氢水溶液。