[发明专利]超纯水制备系统的清洗灭菌方法

权利要求书

1.一种清洗灭菌方法，其是超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接超纯水制备装置和使用点的超纯水流路的内部的至少一部分的清洗灭菌方法，该方法具有：

将超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接它们的超纯水流路的内部的至少一部分用碱性溶液清洗的碱清洗步骤，

在碱清洗步骤完成之后立即用1次纯水或超纯水冲洗超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及超纯水流路的内部的至少一部分的碱性溶液的第1冲洗步骤，

该第1冲洗步骤后将超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及连接它们的超纯水流路的内部的至少一部分用灭菌水灭菌的灭菌步骤，

以及

在灭菌步骤完成之后立即用作为冲洗水的1次纯水或超纯水冲洗超纯水制备装置、超纯水的使用点、以及超纯水流路的内部的至少一部分的灭菌水的第2冲洗步骤，

其中，包含该碱清洗步骤、第1冲洗步骤、灭菌步骤和第2冲洗步骤的一系列步骤进行2次以上，

第2次碱清洗步骤的时间是第1次碱清洗步骤的时间的1.5～2倍，且第2次灭菌步骤的时间是第1次灭菌步骤的时间的1.5～2倍，

整个步骤的最初步骤是碱清洗步骤，整个步骤的最终步骤是第2冲洗步骤，

第1次碱清洗步骤的时间为0.5小时-2.0小时，

第1次灭菌步骤的时间为0.5小时-2.0小时，

上述灭菌水是温度为60℃以上的1次纯水或超纯水形成的温纯水，或者过氧化氢浓度为0.01-10重量％、温度为10-50℃的过氧化氢水溶液。

2.权利要求1所述的方法，其特征在于：上述碱性溶液是含有铵盐和/或碱金属的氢氧化物的pH9以上的水溶液。

3.权利要求1所述的方法，其特征在于：使碱清洗步骤中的碱性溶液的流速为0.3-2.0m/秒。

4.权利要求1所述的方法，其特征在于：使第1冲洗步骤中的冲洗水的流速为0.3-2.0m/秒。

5.权利要求1所述的方法，其特征在于：进行第1冲洗步骤直至冲洗水的pH为8以下和/或冲洗水的电阻率达到10MΩ·cm以上的预先设定值。

6.权利要求1所述的方法，其特征在于：使第2冲洗步骤中的冲洗水的流速为0.3-2.0m/秒。

7.权利要求1所述的方法，其特征在于：灭菌步骤中的灭菌水为过氧化氢水溶液，第2冲洗步骤中，在冲洗水的过氧化氢浓度达到1mg/L以下后转移到下一个步骤。

8.权利要求1所述的方法，其特征在于：灭菌步骤中的灭菌水为温纯水，第2冲洗步骤中，冲洗水的电阻率达到10MΩ·cm以上的预先设定值后转移到下一个步骤。

9.权利要求1所述的方法，其特征在于：超纯水是电阻率15MΩ·cm以上、总有机碳(TOC)1μg/L以下、金属类1ng/L以下的水。

10.权利要求1所述的方法，其特征在于：1次纯水通过将原水用反渗透膜装置处理，然后用离子交换装置处理，再进行反渗透膜处理而获得。

11.权利要求1所述的方法，其特征在于：1次纯水是电阻率10MΩ·cm以上、总有机碳(TOC)100μg/L以下的水。

12.权利要求1所述的方法，其特征在于：冲洗水是电阻率15MΩ·cm以上、总有机碳(TOC)1μg/L以下、金属类1ng/L以下的超纯水。

13.权利要求1所述的方法，其特征在于：冲洗水是通过将原水用反渗透膜装置处理，然后用离子交换装置处理，再进行反渗透膜处理而获得的1次纯水。

14.权利要求1所述的方法，其特征在于：冲洗水是电阻率10MΩ·cm以上、总有机碳(TOC)100μg/L以下的1次纯水。

15.权利要求1所述的方法，其特征在于：

使碱性溶液在超纯水制备装置的罐、超纯水的使用点、以及连接超纯水制备装置和使用点的超纯水流路循环进行清洗步骤；

然后使灭菌水在超纯水制备装置的罐、超纯水的使用点、以及连接超纯水制备装置和使用点的超纯水流路循环进行灭菌步骤，

进行清洗步骤和灭菌步骤时，不循环经过脱气装置、离子交换装置和超滤膜装置。