[发明专利]单一规格纳米硅粉的感应等离子制备方法在审
申请号: | 201510683284.3 | 申请日: | 2015-10-20 |
公开(公告)号: | CN105271237A | 公开(公告)日: | 2016-01-27 |
发明(设计)人: | 杨文智;黄伟明;黄伟;陈子明;尚福军;张保玉;肖敏强;杨柏涛 | 申请(专利权)人: | 中国兵器科学研究院宁波分院 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;B82Y30/00 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫;景丰强 |
地址: | 315103 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种单一规格纳米硅粉的感应等离子制备方法,其特征在于包括如下步骤:将多晶硅粉,放入真空烘箱中去除水分,然后将烘干的多晶硅粉通过气流磨进行破碎处理,筛分,气流分级处理,再经过感应等离子制备即可获得单一规格的纳米硅粉。与现有技术相比,本发明的制备效率达到300g/h以上,原材料利用率达到50%以上,同时通过烘干、破碎、分级等处理,经过感应等离子制备即可获得结构一致且粒径分布均匀、单一规格的高质量纳米硅粉。 | ||
搜索关键词: | 单一 规格 纳米 感应 等离子 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种单一规格纳米硅粉的感应等离子制备方法,其特征在于包括如下步骤:将多晶硅粉,放入真空烘箱中去除水分,然后将烘干的多晶硅粉通过气流磨进行破碎处理,筛分,气流分级处理,再经过感应等离子制备即可获得单一规格的纳米硅粉。
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