[发明专利]一种太阳能硅片线痕检测装置

摘要

本发明公开了一种太阳能硅片线痕检测装置，包括硅片传送带、固定支架以及安装在固定支架上的激光器组件和相机组件，激光器组件和相机组件位于硅片传送带上方且分设于硅片传送带的两侧，激光器组件包括激光发生器和特殊透镜组，激光发生器用于向硅片发射激光，特殊透镜组用于将激光发生器发射的激光分成三束激光，三束激光在硅片上形成三条不同角度的水平激光，水平激光与所述硅片上线痕的方向垂直；相机组件包括CCD相机，CCD相机用于接收激光发生器发射的激光在硅片上反射后形成的反射光。本发明具有检测工作效率高、检测结构精确、误判与漏判的概率低的优点。

主权项

1.一种太阳能硅片线痕检测装置，包括硅片传送带（6）、固定支架（5）以及安装在固定支架（5）上的激光器组件（3）和相机组件，所述激光器组件（3）和相机组件位于硅片传送带（6）上方且分设于硅片传送带（6）的两侧，其特征在于，所述激光器组件（3）包括激光发生器（8）和特殊透镜组（10），所述激光发生器（8）用于向所述硅片（7）发射激光，所述特殊透镜组（10）用于将激光发生器（8）发射的激光分成三束激光，所述三束激光在所述硅片（7）上形成三条不同角度的水平线激光（12），所述水平线激光（12）与所述硅片（7）上的线痕（13）的方向垂直；所述相机组件包括CCD相机（1）和聚光透镜（2），所述CCD相机（1）用于接收激光发生器（8）发射的激光在硅片（7）上反射后形成的反射光，所述聚光透镜（2）用于将硅片（7）表面反射过来的反射光聚集在CCD相机（1）的视场内，每束激光的入射角和反射角为锐角。