[发明专利]一种PMO薄膜的制备方法及应用有效
| 申请号： | 201510648357.5 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN105153446B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张国平;孙蓉;张贾伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C08J5/18 | 分类号： | C08J5/18;C08J9/26;C08L83/08;C08G77/26;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋;侯桂丽 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种PMO薄膜的制备方法及应用；其中制备方法包括如下步骤：(1)提供酰氯化合物； |
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| 搜索关键词： | 一种 pmo 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种PMO薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)提供如式I所示的酰氯化合物；![]()
(2)制备前驱体分子溶液；将所述酰氯化合物、3‑氨基丙基三乙氧基硅烷及三乙胺混合，反应制得前驱体分子溶液；所述前驱体分子溶液中，酰氯化合物:3‑氨基丙基三乙氧基硅烷:三乙胺的摩尔比为0.5～1:1～2:1.2～2.4；所述前驱体分子溶液中的前驱体分子的结构式如式II所示：![]()
(3)制备涂膜溶液：向所述前驱体分子溶液中加入模板剂、溶剂和稀盐酸，制得涂膜溶液，所述模板剂的质量为前驱体分子质量的0～100％，所述涂膜溶液中，所述前驱体分子的浓度为0.02～0.04mol/L；(4)制备PMO薄膜；将所述涂膜溶液涂于基底表面，固化，制得PMO薄膜。
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