[发明专利]图像传感器、成像系统及图像传感器制作的方法

摘要

本发明涉及图像传感器、成像系统及图像传感器制作的方法。图像传感器包含具有多个光电二极管的半导体层。多个隔离结构安置于所述半导体层的背侧中在所述多个光电二极管中的个别光电二极管之间。所述多个隔离结构延伸到所述半导体层的所述背侧中第一深度且延伸出所述半导体层的所述背侧第一长度。接近于所述半导体层的所述背侧安置多个滤光器，使得所述多个隔离结构安置于所述多个滤光器中的个别滤光器之间。抗反射涂层还安置于所述半导体层与所述多个滤光器之间。

主权项

1.一种图像传感器，所述图像传感器包括：半导体层，其包含多个光电二极管，其中所述半导体层具有前侧及背侧；多个隔离结构，其安置于所述半导体层的所述背侧中在所述多个光电二极管中的个别光电二极管之间，其中所述多个隔离结构延伸到所述半导体层的所述背侧中第一深度且延伸出所述半导体层的所述背侧第一长度；多个滤光器，其接近于所述半导体层的所述背侧安置，其中所述多个隔离结构安置于所述多个滤光器中的个别滤光器之间；抗反射涂层，其安置于所述半导体层与所述多个滤光器之间；及夹层，所述夹层安置于所述多个隔离结构与所述多个滤光器之间，其中所述夹层经定形以将光引导到所述多个光电二极管中。