[发明专利]一种硅片切割机用切削液过滤装置

摘要

本发明涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置，解决了现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统过滤效果差的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质。

主权项

一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔(2)的壳体(1)，所述壳体(1)上设有与内腔(2)相通的口部，所述壳体(1)上固定有封闭口部的盖子(3)，所述内腔(2)内设有将内腔(2)分为上腔(4)和下腔(5)的过滤网(6)，所述壳体(1)上还设有进水口(7)和出水口(8)，所述进水口(7)与上腔(4)相通，所述出水口(8)与下腔(5)相通，其特征在于：所述上腔(4)内设有沉淀部(9)，所述沉淀部(9)上开设有沉淀腔(10)，所述沉淀腔(10)内设有缓冲腔(11)，所述进水口(7)内设有将进水口(7)内进入的水导入缓冲腔(11)的导流管(12)，所述缓冲腔(11)上端设有将缓冲腔(11)内的水排入沉淀腔(10)的排水口(13)，所述沉淀腔(10)上端具有将沉淀腔(10)内的水排至过滤网(6)的泄水口(14)，所述泄水口(14)的水平高度低于排水口(13)的水平高度，所述上腔(4)的侧壁上设有固定沉淀部(9)的固定块(15)，所述固定块(15)通过螺纹连接固定在上腔(4)的侧壁上，所述固定块(15)上设有对沉淀部(9)进行定位的定位孔(16)，所述沉淀部(9)上设有与定位孔(16)配合的定位柱(17)；所述缓冲腔(11)的中心线与沉淀腔(10)的中心线重合；所述缓冲腔(11)由管状的缓冲部(18)与沉淀部(9)组合形成，所述缓冲部(18)通过螺纹连接固定在沉淀腔(10)内，所述沉淀腔(10)内设有具有外螺纹的连接柱(19)，所述缓冲部(18)内设有与连接柱(19)上外螺纹配合的内螺纹；所述壳体(1)的侧壁上固定有固定过滤网(6)的固定环(20)，所述固定环(20)通过锁紧螺钉固定在壳体(1)的侧壁上，所述过滤网(6)包括放置于固定环(20)上的第一滤网(21)和放置于固定环(20)内的第二滤网(22)，所述固定环(20)内设有放置第二滤网(22)的台阶(23)；所述盖子(3)通过螺栓固定在壳体(1)上，所述盖子(3)与壳体(1)之间设有密封垫片(24)。