[发明专利]一种硅片切割机用切削液过滤装置

说明书

技术领域

本发明涉及硅片切割机配件，尤其涉及一种硅片切割机用切削液过滤装置。

背景技术

硅片的生产之前采用的是钢线载砂浆切割，而如今直接用一种特制的金钢线带水切割，此技术不仅大大缩短了生产加工时间，并且使产品的整体质量上了一个台阶，生产成本同时大幅度下降。而金刚线切割技术对于水质的要求也很高，不仅要求用纯水和添加剂，而且要求水中无任何的固体小颗粒。如果水中固体杂物多，在切割时线网容易将杂物带到主辊上，从而引起跳线导致断线概率高，并且固体杂物粘附在硅棒的线缝里使水不能到达切割区域，容易产生断线和大量不良片。

现有技术中用于硅片切割机的过滤水箱结构简单、过滤效果差，通常包括箱体和固定在箱体内的一个过滤网，过滤水箱仅能对切削液进行过滤，切削液在过滤过程中没有沉淀效果，造成过滤水箱过滤效果差、切削液水质下降。

发明内容

本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，旨在克服现有技术中硅片切割机用切削液过滤系统没有沉淀效果，造成过滤系统过滤效果差的不足。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种硅片切割机用切削液过滤装置，包括具有内腔的壳体，所述壳体上设有与内腔相通的口部，所述壳体上固定有封闭口部的盖子，所述内腔内设有将内腔分为上腔和下腔的过滤网，所述壳体上还设有进水口和出水口，所述进水口与上腔相通，所述出水口与下腔相通，所述上腔内设有沉淀部，所述沉淀部上开设有沉淀腔，所述沉淀腔内设有缓冲腔，所述进水口内设有将进水口内进入的水导入缓冲腔的导流管，所述缓冲腔上端设有将缓冲腔内的水排入沉淀腔的排水口，所述沉淀腔上端具有将沉淀腔内的水排至过滤网的泄水口，所述泄水口的水平高度低于排水口的水平高度，所述上腔的侧壁上设有固定沉淀部的固定块，所述固定块通过螺纹连接固定在上腔的侧壁上，所述固定块上设有对沉淀部进行定位的定位孔，所述沉淀部上设有与定位孔配合的定位柱。

上述技术方案中，通过设置沉淀腔，在沉淀腔内设置缓冲腔，由进水口进入的水流先进入缓冲腔内，水流注满缓冲腔后由排水口溢出并进入沉淀腔内，沉淀腔被水注满后，位于沉淀腔内的水由泄水口溢出，沉淀腔内溢出的水经过滤网过滤后由出水口排出，循环使用，水流在沉淀腔内沉淀后再进行过滤，大大提高了过滤装置的过滤效果，优化了水质。

一种可选的方案，所述缓冲腔的中心线与沉淀腔的中心线重合。缓冲腔内的水由排水口排出时可以均匀地排至沉淀腔内，优化了沉淀腔的沉淀效果。

一种可选的方案，所述缓冲腔由管状的缓冲部与沉淀部组合形成，所述缓冲部通过螺纹连接固定在沉淀腔内，所述沉淀腔内设有具有外螺纹的连接柱，所述缓冲部内设有与连接柱上外螺纹配合的内螺纹。由于缓冲部通过螺纹连接固定在连接柱上，长期使用后，沉积在缓冲腔内的杂质可以方便地进行清洗，操作十分方便。

一种可选的方案，所述壳体的侧壁上固定有固定过滤网的固定环，所述固定环通过锁紧螺钉固定在壳体的侧壁上，所述过滤网包括放置于固定环上的第一滤网和放置于固定环内的第二滤网，所述固定环内设有放置第二滤网的台阶。过滤网包括第一滤网和第二滤网，大大提高了过滤网的过滤效果，进一步优化了切削液的水质。

所述盖子通过螺栓固定在壳体上，所述盖子与壳体之间设有密封垫片。盖子通过螺栓固定在壳体上，便于盖子的装配，降低了操作人员的劳动强度。

与现有技术相比，本发明提供的一种硅片切割机用切削液过滤装置，具有如下优点：在上腔内设置沉淀腔，并且沉淀腔内设有缓冲腔，经进水口进入的水流先经导向管，并由导向管将水流导入缓冲腔内，水流经缓冲腔缓冲后溢入沉淀腔内进行沉淀，最后经沉淀后的水流经过滤网过滤后进入下腔并由出水口排出循环使用；通过在沉淀腔内设置缓冲腔，避免了由进水口进入的水流冲击沉淀腔内的水，优化了沉淀腔的沉淀效果，从而提高了过滤装置的过滤效果，提高了切削液的水质；

另外，固定沉淀部的固定块上设置有定位孔，沉淀部上设置有与定位孔配合的定位柱，沉淀部在固定块上固定可靠，避免了沉淀部错位造成缓冲腔与导流管错位，从而使水流无法进入缓冲腔内；

进一步的，通过设置第一滤网和第二滤网，大大优化了过滤网的过滤效果，进一步提高了切削液的水质，使其更利于硅片的切割。

附图说明

附图1是本发明一种硅片切割机用切削液过滤装置的主视图；

附图2是附图1中A处放大图。

具体实施方式