[发明专利]一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台有效
| 申请号： | 201510629763.7 | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105223213B | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;王晓冬;庄春强;张剑飞;邓青松;翟亚迪;张韬楠;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能‑显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 电镜双倾 原位 纳米 压痕 平台 | ||
【主权项】：
一种透射电镜双轴倾转原位纳米压痕平台，其特征在于：包括粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台和微型压头五部分；其中，粘接区为位于两侧呈对称分布的矩形平板区；支撑梁为2～4根矩形固支梁，连接两侧的粘接区；承载梁为两根对称设计的悬臂梁，每根悬臂梁一侧分别与粘接区相连，另一侧伸向器件中心；样品载台为一块平板，尾端与其中一根承载梁的末端相连，靠近微型压头一侧切有缺口作为电子束透过区；微型压头为一块矩形平板，尾端与另一根承载梁相连，在靠近样品载台一侧有一个三角形尖头。
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