[发明专利]等离子体产生用的天线及具备该天线的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201510627231.X | 申请日： | 2015-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN105491780B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 安东靖典;李东伟 | 申请（专利权）人： | 日新电机株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 张洋,臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子体产生用的天线及具备该天线的等离子体处理装置，天线是配置在真空容器内以用于产生电感耦合型等离子体的天线，即使在加长天线的情况下，也能够抑制其阻抗的增大。天线(20)配置在真空容器(2)内，用于使高频电流流经以使真空容器(2)内产生电感耦合型等离子体(16)，所述天线(20)具备绝缘管(22)；以及中空的天线本体(24)，配置在绝缘管(22)中，且内部流经有冷却水，天线本体(24)采用使中空绝缘体(28)介隔在相邻的金属管(26)间而将多个金属管(26)串联连接的结构，各连接部具有相对于真空及所述冷却水的密封功能。本发明即使在加长天线的情况下，也能够抑制其阻抗的增大。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 天线 具备 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种天线，配置在真空容器内，且用于使高频电流流经而使所述真空容器内产生电感耦合型等离子体，所述天线的特征在于包括：绝缘管；以及中空的天线本体，配置于所述绝缘管中，且内部流经有冷却水，所述天线本体采用使中空绝缘体介隔在相邻的金属管间而将多个金属管串联连接的结构，各连接部具有相对于真空及所述冷却水的密封功能；所述中空的天线本体还包括：电容器，设置在各所述中空绝缘体的外周部。
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