[发明专利]等离子体产生用的天线及具备该天线的等离子体处理装置

权利要求书

1.一种天线，配置在真空容器内，且用于使高频电流流经而使所述真空容器内产生电感耦合型等离子体，所述天线的特征在于包括：

绝缘管；以及中空的天线本体，配置于所述绝缘管中，且内部流经有冷却水，

所述天线本体采用使中空绝缘体介隔在相邻的金属管间而将多个金属管串联连接的结构，各连接部具有相对于真空及所述冷却水的密封功能；

所述中空的天线本体还包括：电容器，设置在各所述中空绝缘体的外周部。

2.根据权利要求1所述的天线，其特征在于，

所述电容器与所述中空绝缘体两侧的所述金属管电性串联地相连，

所述中空绝缘体及所述电容器被配置在所述真空容器内，

若将所述中空绝缘体的其中一个端部与所述金属管的连接部称作第1连接部，另一端部与所述金属管的连接部称作第2连接部，则所述电容器兼用所述第1连接部侧的所述金属管的一部分来作为所述电容器的第1电极，且包括：介电体，设置在从所述第1连接部侧的所述金属管的外周部直到所述中空绝缘体的外周部的区域内；以及第2电极，所述第2电极是设置在从所述介电体的外周部直到所述第2连接部侧的所述金属管的外周部的区域内，并与所述第2连接部侧的金属管电连接的电极，且具有介隔所述介电体而重叠于所述第1连接部侧的所述金属管的区域。

3.根据权利要求2所述的天线，其特征在于，

在所述介电体的内侧面及外侧面，以相对向的方式且彼此电绝缘地形成有金属膜，所述内侧面的金属膜电连接于所述第1连接部侧的所述金属管，所述外侧面的金属膜电连接于所述第2电极。

4.根据权利要求2所述的天线，其特征在于，

所述介电体包含介电体片材，在其两个主面上，以相对向的方式且彼此电绝缘地形成有金属膜，

所述介电体片材除了圆周方向的端部以外，单层卷绕在从所述第1连接部侧的所述金属管的外周部直到所述中空绝缘体的外周部的区域，而圆周方向的端部的介电体片材彼此重叠，

所述第2电极包含金属片材，且以按压所述介电体片材的方式，卷绕在从所述介电体片材的外周部直到所述第2连接部侧的所述金属管的外周部的区域，

由此，将所述介电体片材的其中一个主面的所述金属膜电连接于所述第1连接部侧的所述金属管，并且将另一个主面的所述金属膜电连接于所述第2电极。

5.根据权利要求2所述的天线，其特征在于，

所述介电体包含介电体片材，在其两个主面上，以相对向的方式且彼此电绝缘地形成有金属膜，

所述介电体片材除了圆周方向的端部以外，单层卷绕在从所述第1连接部侧的所述金属管的外周部直到所述中空绝缘体的外周部的区域，而圆周方向的端部的介电体片材彼此重叠，

所述第2电极包含一对半圆筒状电极，利用两半圆筒状电极彼此从相反侧按压所述介电体片材，并且利用固定部件将两半圆筒状电极固定于所述第2连接部侧的所述金属管，

由此，将所述介电体片材的其中一个主面的所述金属膜电连接于所述第1连接部侧的所述金属管，并且将另一个主面的所述金属膜电连接于所述第2电极。

6.根据权利要求1所述的天线，其特征在于，

所述电容器是层状的电容器，并采用将各中空绝缘体两侧的所述金属管与所述电容器电性串联连接的结构，

各所述电容器具有：第1电极，所述第1电极是配置在所述中空绝缘体的外周部的电极，且与连接于所述中空绝缘体的其中一侧的所述金属管电连接；第2电极，所述第2电极是以与所述第1电极重叠的方式配置在所述中空绝缘体的外周部的电极，且与连接于所述中空绝缘体的另一侧的所述金属管电连接；以及介电体，配置在所述第1电极及第2电极间。

7.根据权利要求6所述的天线，其特征在于，

各所述电容器分别具有多层所述第1电极、第2电极及介电体。

8.根据权利要求6所述的天线，其特征在于，

所述天线本体隔着空间而配置在所述绝缘管内。