[发明专利]一种延长石墨舟使用寿命的方法

摘要

本发明公开了一种延长石墨舟使用寿命的方法，包括如下步骤1)石墨舟烘干之后，拆成片，2)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀三层硅膜；膜总厚度为4‑10微米；3)惰性气体保护下，将温度缓慢升至800‑1000℃，对非晶硅膜进行晶化，得到晶体硅薄膜；4)惰性气体保护下冷却至室温。本发明可以延长石墨舟的使用寿命。

主权项

一种延长石墨舟使用寿命的方法，包括如下步骤：1)石墨舟烘干之后，拆成片，腐蚀或清洁表面；2)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第一层硅膜，功率2.4‑2.6kW，通SiH4,N2,Ar；膜厚1‑2μm；3)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第二层硅膜，功率1.9‑2.1kW，通SiH4，N2，Ar；膜厚1‑3μm；4)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第三层硅膜，功率1.4‑1.6kW，通SiH4，N2，H2；膜厚2‑6μm；5)惰性气体保护下，将温度缓慢升至800‑1000℃，对非晶硅膜进行晶化，得到晶体硅薄膜；6)惰性气体保护下冷却至室温。