[发明专利]一种延长石墨舟使用寿命的方法有效
申请号: | 201510626772.0 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN105470344B | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 许新湖;柯雨馨;戴亮亮 | 申请(专利权)人: | 阳光中科(福建)能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/205 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 | 代理人: | 张松亭,游学明 |
地址: | 362302 福建省泉*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 延长 石墨 使用寿命 方法 | ||
1.一种延长石墨舟使用寿命的方法,包括如下步骤:
1)石墨舟烘干之后,拆成片,腐蚀或清洁表面;
2)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第一层硅膜,功率2.4-2.6kW,通SiH4,N2,Ar;膜厚1-2μm;
3)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第二层硅膜,功率1.9-2.1kW,通SiH4,N2,Ar;膜厚1-3μm;
4)采用等离子增强化学气相沉积的方法镀第三层硅膜,功率1.4-1.6kW,通SiH4,N2,H2;膜厚2-6μm;
5)惰性气体保护下,将温度缓慢升至800-1000℃,对非晶硅膜进行晶化,得到晶体硅薄膜;
6)惰性气体保护下冷却至室温。
2.如权利要求1所述的一种延长石墨舟使用寿命的方法,其特征在于:步骤1)的石墨舟为新出厂或是使用一段时间之后。
3.如权利要求1所述的一种延长石墨舟使用寿命的方法,其特征在于:三层硅膜的总厚度为4-10微米。
4.如权利要求1所述的一种延长石墨舟使用寿命的方法,其特征在于:步骤1)中,新的石墨舟处理如下,烘干,拆成片之后,进行如下处理:
1)鼓泡酸洗:采用浓硝酸,30-50℃;石墨舟一共浸泡2-3h,每1h设定鼓泡20-30min;
2)鼓泡水洗:2-3h,每1h换水一次,清洗时鼓泡不断;
3)抽风烘干:温度130-150℃,抽风,烘干时间8-20h。
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