[发明专利]集成电路结构有效

专利信息
申请号: 201510622440.5 申请日: 2010-06-09
公开(公告)号: CN105355594B 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 陈家忠;陈硕懋;郭晋玮;刘莎莉 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L21/8224 分类号: H01L21/8224;H01L27/02;H01L27/082;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/735
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 郝新慧;章侃铱
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种集成电路结构。上述集成电路结构包括一阱区,其具有一第一导电类型。一射极,其具有相反于上述第一导电类型的一第二导电类型,上述射极位于上述阱区上方。一集极,其具有上述第二导电类型,上述集极位于上述阱区上方,且大体上环绕上述射极。一基极接触,其具有上述第一导电类型,上述基极接触位于上述阱区上方。上述基极接触将上述射极和上述集极水平隔开。至少一导电条状物,与上述射极、上述集极和上述基极接触彼此水平隔开。一介电层,位于至少一上述导电条状物的正下方,且与至少一上述导电条状物接触。本发明具有高射频频率和高电流增益,并导致闪烁噪声的降低,另外可降低工艺成本。
搜索关键词: 集成电路 结构
【主权项】:
1.一种集成电路结构,包括:一阱区,其具有一第一导电类型;一埋藏氧化物区;一半导体基板,位于该埋藏氧化物区的正下方;一保护环,由延伸进入该半导体基板中的一浅沟槽隔离物形成,该保护环完全环绕该阱区;一射极,其具有相反于该第一导电类型的一第二导电类型,该射极和该埋藏氧化物区分别位于该阱区上方和正下方;一集极,其具有该第二导电类型,该集极和该埋藏氧化物区分別位于该阱区上方和正下方,且大体上环绕该射极,其中该射极位于该集极的一顶点上;一基极接触,其具有该第一导电类型,该基极接触位于该阱区上方;至少一导电条状物,将该射极、该集极和该基极接触彼此水平隔开;一介电层,位于至少一所述导电条状物的正下方,且与至少一所述导电条状物接触;以及一额外阱区,其形成环绕该阱区和该埋藏氧化物区的一环形物,该额外阱区具有该第二导电类型。
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