[发明专利]集成电路结构有效
| 申请号: | 201510622440.5 | 申请日: | 2010-06-09 |
| 公开(公告)号: | CN105355594B | 公开(公告)日: | 2018-11-16 |
| 发明(设计)人: | 陈家忠;陈硕懋;郭晋玮;刘莎莉 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/8224 | 分类号: | H01L21/8224;H01L27/02;H01L27/082;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/735 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郝新慧;章侃铱 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明提供一种集成电路结构。上述集成电路结构包括一阱区,其具有一第一导电类型。一射极,其具有相反于上述第一导电类型的一第二导电类型,上述射极位于上述阱区上方。一集极,其具有上述第二导电类型,上述集极位于上述阱区上方,且大体上环绕上述射极。一基极接触,其具有上述第一导电类型,上述基极接触位于上述阱区上方。上述基极接触将上述射极和上述集极水平隔开。至少一导电条状物,与上述射极、上述集极和上述基极接触彼此水平隔开。一介电层,位于至少一上述导电条状物的正下方,且与至少一上述导电条状物接触。本发明具有高射频频率和高电流增益,并导致闪烁噪声的降低,另外可降低工艺成本。 | ||
| 搜索关键词: | 集成电路 结构 | ||
【主权项】:
1.一种集成电路结构,包括:一阱区,其具有一第一导电类型;一埋藏氧化物区;一半导体基板,位于该埋藏氧化物区的正下方;一保护环,由延伸进入该半导体基板中的一浅沟槽隔离物形成,该保护环完全环绕该阱区;一射极,其具有相反于该第一导电类型的一第二导电类型,该射极和该埋藏氧化物区分别位于该阱区上方和正下方;一集极,其具有该第二导电类型,该集极和该埋藏氧化物区分別位于该阱区上方和正下方,且大体上环绕该射极,其中该射极位于该集极的一顶点上;一基极接触,其具有该第一导电类型,该基极接触位于该阱区上方;至少一导电条状物,将该射极、该集极和该基极接触彼此水平隔开;一介电层,位于至少一所述导电条状物的正下方,且与至少一所述导电条状物接触;以及一额外阱区,其形成环绕该阱区和该埋藏氧化物区的一环形物,该额外阱区具有该第二导电类型。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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