[发明专利]膜厚控制系统及膜厚控制方法有效
| 申请号： | 201510605228.8 | 申请日： | 2015-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN105088172B | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 付文悦;陈立强;孙俊民 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，公开了一种膜厚控制系统，包括移动装置、膜厚测量仪及计算机，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述移动装置上，并连接所述计算机，用于从计算机获取要测量位置的坐标点，并将测得的所述要测量位置的实际膜厚发送至计算机，所述计算机根据所述实际膜厚、预设膜厚及当前补偿值计算新补偿值，并将所述新补偿值发送至蒸镀装置用作补偿蒸镀参考。本发明还公开了一种膜厚控制方法。本发明的装置及方法能够更加精确地控制OLED有机发光材料的蒸镀膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚控制系统，其特征在于，包括：移动装置、膜厚测量仪及计算机，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述移动装置上，并连接所述计算机，用于从计算机获取待测基板要测量位置的坐标点，并将测得的所述要测量位置的实际膜厚发送至计算机，所述计算机用于在实际膜厚未达到预设膜厚的误差范围下限时根据所述实际膜厚、预设膜厚及当前补偿值计算新补偿值，并将所述新补偿值发送至蒸镀装置用作补偿蒸镀参考。
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