[发明专利]膜厚控制系统及膜厚控制方法

权利要求书

1.一种膜厚控制系统，其特征在于，包括：移动装置、膜厚测量仪及计算机，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述移动装置上，并连接所述计算机，用于从计算机获取待测基板要测量位置的坐标点，并将测得的所述要测量位置的实际膜厚发送至计算机，所述计算机用于在实际膜厚未达到预设膜厚的误差范围下限时根据所述实际膜厚、预设膜厚及当前补偿值计算新补偿值，并将所述新补偿值发送至蒸镀装置用作补偿蒸镀参考。

2.如权利要求1所述的膜厚控制系统，其特征在于，所述移动装置包括：X轴丝杠、第一Y轴丝杠、第二Y轴丝杠和伺服电机，所述X轴丝杠垂直于所述第一Y轴丝杠和所述第二Y轴丝杠，所述X轴丝杠的两端分布可移动地安装在所述第一Y轴丝杠和所述第二Y轴丝杠上，所述膜厚测量仪可移动地安装在所述X轴丝杠上，所述伺服电机连接所述计算机，用于根据计算机指令控制所述第一Y轴丝杠和第二Y轴丝杠驱动X轴丝杠和导轨沿Y方向移动，并控制所述X轴丝杠驱动所述膜厚测量仪沿X方向移动。

3.一种利用权利要求1或2所述膜厚控制系统控制膜厚的方法，其特征在于，反复执行以下步骤S1～S3直到实际膜厚达到预定要求，

S1：采用膜厚测量仪测量待测基板上预定坐标的实际膜厚，并将所述实际膜厚反馈至计算机；

S2：计算机判断实际膜厚未达到预设膜厚的误差范围下限时根据所述实际膜厚、预设膜厚及当前补偿值计算新补偿值，并将新补偿值反馈至蒸镀装置；

S3：蒸镀装置根据新补偿值对预定坐标处补偿蒸镀有机发光材料。

4.如权利要求3所述的控制膜厚的方法，其特征在于，步骤S1中，由所述计算机控制所述移动装置将所述膜厚测量仪移动到预定坐标。

5.如权利要求3所述的控制膜厚的方法，其特征在于，步骤S2的方式具体为：A_i＝A_i－1×T_i/C，其中i＝1,2,……,N，A₀为初始补偿值，A_i为新补偿值，A_i－1为当前补偿值，T_i为第i次测试的膜厚，C为所述预设膜厚。

6.如权利要求3～5中任一项所述的控制膜厚的方法，其特征在于，所述预定坐标为基板上每个面板中心的坐标。