[发明专利]印刷基板的影像检测方法有效

专利信息
申请号: 201510599430.4 申请日: 2015-09-18
公开(公告)号: CN105136818B 公开(公告)日: 2018-03-09
发明(设计)人: 林向如 申请(专利权)人: 联策科技股份有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司11335 代理人: 翟国明
地址: 中国台湾桃园*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种印刷基板的影像检测方法,包括步骤有撷取一样品基板的样品基板初始影像,该样品基板初始影像包括有多个样品元件区域;分析该样品基板初始影像,产生对应所述多个样品元件区域的多个样品元件图层,并获得该样品元件图层的一位置信息以及样品影像参数;每一该样品元件图层独立对位于对应的标准基板影像的标准元件图层;合并所述多个样品元件图层,形成一样品基板校正影像;以及迭合该样品基板校正影像与该标准基板影像,比对每个该样品元件图层的该样品影像参数与每个对应的该标准元件图层的该标准影像参数。
搜索关键词: 印刷 影像 检测 方法
【主权项】:
一种印刷基板的影像检测方法,其特征在于,包括步骤有:a)取得一具有多个标准元件区域的标准基板影像以及对应每一所述标准元件区域的多个标准元件图层,所述标准元件图层包括有一位置信息以及至少一标准影像参数;b)撷取一样品基板的样品基板初始影像,所述样品基板初始影像包括有多个分别对应所述标准元件区域的样品元件区域;c)分析所述样品基板初始影像,产生对应多个所述样品元件区域的多个样品元件图层,并获得所述样品元件图层的一位置信息以及样品影像参数;d)根据所述标准元件图层与所述样品元件图层的位置信息,使每一所述样品元件图层独立对位于对应的所述标准元件图层;e)合并独立对位完成后的多个所述样品元件图层,形成一样品基板校正影像;以及f)迭合所述样品基板校正影像与所述标准基板影像,比对所述样品基板校正影像上每个所述样品元件图层的所述样品影像参数与所述标准基板影像上每个对应的所述标准元件图层的所述标准影像参数,以检测所述样品基板的各所述样品元件区域是否具有瑕疵。
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