[发明专利]一种漏电流的测试版图、检测结构及其检测方法

摘要

本发明提供一种漏电流的测试版图、检测结构及其检测方法，该测试版图模块包括在工艺流程前段形成的M个PN结二极管漏电流测试单元与位于金属层的经典漏电流测试单元相并联电路，该PN结二极管的P端接高电位，该PN结二极管的N端接低电位；该M个PN结二极管的结面积是不同的，且每一个并接的回路均由不同的开关控制，其中，M为大于等于1的正整数；该方法通过把前段工艺中形成的PN结二极管与经典金属漏电流测试结构并联进行漏电流测试，不仅可以缩小金属层漏电流测试所需的版图面积，还可以进一步提高漏电流量测的精度。

主权项

一种金属层漏电流的检测结构，包括测试版图模块、测试模块和计算模块；其特征在于，所述测试版图模块包括在工艺流程前段形成的M个PN结二极管漏电流测试单元与位于金属层的经典漏电流测试单元相并联电路，所述PN结二极管的P端接高电位，所述PN结二极管的N端接低电位；所述M个PN结二极管的结面积是不同的，且每一个并接的回路均由不同的开关控制，其中，M为大于1的正整数；所述测试模块用于检测所述测试版图模块漏电流、各个所述PN结二极管漏电流和各个所述PN结二极管分别与所述PN结二极管并联后的漏电流；所述计算模块，用于根据所述测试版图模块漏电流、各个所述PN结二极管漏电流、各个所述PN结二极管分别与所述PN结二极管并联后的漏电流以及它们间的结果关系，通过计算得到所需的金属层漏电流。