[发明专利]超轻反射镜表面制备反射膜的方法在审
| 申请号: | 201510576536.2 | 申请日: | 2015-09-11 |
| 公开(公告)号: | CN105154819A | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
| 发明(设计)人: | 马占吉;肖更竭;武生虎;牟先凯 | 申请(专利权)人: | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号: | C23C14/02 | 分类号: | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/20 |
| 代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 刘洪京 |
| 地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种超轻反射镜表面制备反射膜的方法,包括以下步骤:⑴、镜面处理:用干燥气体对超轻反射镜的表面吹尖处理,用乙醇或丙酮清洗镜面;⑵、真空除气:将经步骤⑴处理后的超轻反射镜固定在真空下加热;⑶、离子束清洗:在真空状态下通氩气或氩气和氧气混合气,对超轻反射镜进行离子束清洗;⑷、沉积反射膜:在超轻反射镜的镜面上镀铬或镍铬合金层,再镀镍或银层。本发明利用对反射镜镜坯化学清洗、真空除气、离子束清洗和沉积反射膜等技术手段,有效提高了反射膜的致密性和附着力,解决了在碳纤维增强树脂基复合材料反射镜镜坯表面制备反射膜的技术难题。 | ||
| 搜索关键词: | 反射 表面 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超轻反射镜表面制备反射膜的方法,包括以下步骤:⑴、镜面处理:用干燥气体对超轻反射镜的表面吹尖处理,用乙醇或丙酮清洗镜面;⑵、真空除气:将经步骤⑴处理后的超轻反射镜固定在真空下加热;⑶、离子束清洗:在真空状态下通氩气或氩气和氧气混合气,对超轻反射镜进行离子束清洗;⑷、沉积反射膜:在超轻反射镜的镜面上镀铬或镍铬合金层,再镀镍或银层。
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