[发明专利]超轻反射镜表面制备反射膜的方法在审
| 申请号： | 201510576536.2 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105154819A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 马占吉;肖更竭;武生虎;牟先凯 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/32;C23C14/20 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射 表面 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超轻反射镜表面制备反射膜的方法，包括以下步骤：
⑴、镜面处理：用干燥气体对超轻反射镜的表面吹尖处理，用乙醇或丙酮清洗镜面；
⑵、真空除气：将经步骤⑴处理后的超轻反射镜固定在真空下加热；
⑶、离子束清洗：在真空状态下通氩气或氩气和氧气混合气，对超轻反射镜进行离子束清洗；
⑷、沉积反射膜：在超轻反射镜的镜面上镀铬或镍铬合金层，再镀镍或银层。
2.如权利要求1所述超轻反射镜表面制备反射膜的方法，其特征在于：步骤⑴中干燥气体为纯氮气。
3.如权利要求1所述超轻反射镜表面制备反射膜的方法，其特征在于：步骤⑵中真空度低于5×10-3Pa，加热温度为100℃～140℃。
4.如权利要求1所述超轻反射镜表面制备反射膜的方法，其特征在于：步骤⑶中真空度为2×10-2Pa～5×10-2Pa。
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