[发明专利]硬质滑动部件的制造方法在审
| 申请号： | 201510576497.6 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105420670A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 广田悟史 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;李婷 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的硬质滑动部件的制造方法包括：表面处理工序，将基材的表面进行表面处理；和碳膜形成工序，通过使用包含碳的靶进行电弧离子镀，在基材的表面上形成碳膜。在碳膜形成工序中，通过一边将碳氢化合物气体导入一边进行电弧离子镀而开始上述碳膜的形成，然后减少该碳氢化合物气体的导入量而继续进行该电弧离子镀，形成中间层，在表面上形成由ta-C构成的表层。 | ||
| 搜索关键词： | 硬质 滑动 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种硬质滑动部件的制造方法，是用来制造硬质滑动部件的方法，上述硬质滑动部件具备基材和碳膜，上述碳膜形成在基材的表面上且具有比该基材的硬度高的硬度，上述硬质滑动部件的制造方法的特征在于，包括：表面处理工序，将上述基材的表面进行表面处理；和碳膜形成工序，通过使用包含碳的靶在腔室内进行电弧离子镀，在上述基材的表面上形成上述碳膜；在上述碳膜形成工序中，通过一边向上述腔室内导入碳氢化合物气体一边进行上述电弧离子镀而开始上述碳膜的形成，然后，将向上述腔室内的该碳氢化合物气体的导入量减少而继续进行该电弧离子镀，至少在表面上形成ta‑C。
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