[发明专利]硬质滑动部件的制造方法在审
| 申请号： | 201510576497.6 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN105420670A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 广田悟史 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;李婷 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬质 滑动 部件 制造 方法 | ||
1.一种硬质滑动部件的制造方法，是用来制造硬质滑动部件的方法，上述硬质滑动部件具备基材和碳膜，上述碳膜形成在基材的表面上且具有比该基材的硬度高的硬度，上述硬质滑动部件的制造方法的特征在于，
包括：
表面处理工序，将上述基材的表面进行表面处理；和
碳膜形成工序，通过使用包含碳的靶在腔室内进行电弧离子镀，在上述基材的表面上形成上述碳膜；
在上述碳膜形成工序中，通过一边向上述腔室内导入碳氢化合物气体一边进行上述电弧离子镀而开始上述碳膜的形成，然后，将向上述腔室内的该碳氢化合物气体的导入量减少而继续进行该电弧离子镀，至少在表面上形成ta-C。
2.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述碳膜形成工序包括以下工序：一边以向上述腔室内的上述碳氢化合物气体的导入量随着时间的经过逐渐减少的方式导入该碳氢化合物气体，一边使用上述包含碳的靶进行电弧离子镀。
3.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述碳膜形成工序包括以下工序：在将上述碳氢化合物气体的导入停止后，也通过使用上述包含碳的靶继续进行电弧离子镀来形成包含ta-C的表层。
4.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述碳氢化合物气体是乙炔。
5.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述碳氢化合物气体是甲烷。
6.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述表面处理工序包括在上述基材之上通过电弧离子镀形成基底层的工序。
7.如权利要求6所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
从形成上述基底层的工序马上要结束之前起，一边导入上述碳氢化合物气体一边开始上述碳膜形成工序。
8.如权利要求6所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述表面处理工序还包括以下的夹设层形成工序：在上述基底层之上，通过电弧离子镀形成硬度比该基底层高且硬度比上述碳膜低的夹设层。
9.如权利要求1所述的硬质滑动部件的制造方法，其特征在于，
上述表面处理工序是将上述基材的表面通过金属轰击进行处理的工序。
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