[发明专利]一种硅片的制绒方法在审

专利信息
申请号: 201510571969.9 申请日: 2015-09-10
公开(公告)号: CN105047767A 公开(公告)日: 2015-11-11
发明(设计)人: 刘长明;金井升;蒋方丹;金浩 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;C30B33/10
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种硅片的制绒方法,包括以下步骤:A)将金刚线切割的硅片用腐蚀溶液进行刻蚀;B)将刻蚀后的硅片放置在电解液中通电,进行处理;C)将处理后的硅片用碱性溶液进行碱性刻蚀。与现有技术相比,本发明通过电化学腐蚀的方法在硅片表面形成多孔硅结构,并通过后续的碱性溶液进行结构优化处理得到理想的绒面结构,该工艺简单且稳定性好,既解决了金刚线切割的硅片制绒问题,同时也提高了后续镀膜的均匀性,提高了产品的良率,提高了电池转换效率,具有很好的实用性。
搜索关键词: 一种 硅片 方法
【主权项】:
一种硅片的制绒方法,其特征在于,包括以下步骤:A)将金刚线切割的硅片用腐蚀溶液进行刻蚀;B)将刻蚀后的硅片放置在电解液中通电,进行处理;C)将处理后的硅片用碱性溶液进行碱性刻蚀。
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