[发明专利]一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备有效
| 申请号： | 201510563771.6 | 申请日： | 2015-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN105154831A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 上官荣刚;贾文斌;王欣欣;高昕伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示设备制造领域，公开了一种真空蒸发源装置及真空蒸镀设备，包括蒸镀坩埚和设置于蒸镀坩埚出口处的第一盖板和第二盖板，第一盖板上设置有多个贯穿其厚度方向且均匀分布的第一过孔，第二盖板上设置有与第一过孔一一对应的第二过孔；第二盖板可相对第一盖板沿第一盖板延伸方向位置可调地叠置于第一盖板上，每一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积大小与另一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积大小相同，当第二盖板相对于第一盖板移动时实现对每一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积的调节，可以减小蒸发源不同位置处蒸镀速率的差异，提高基板各处蒸镀材料膜厚的均匀性，提升显示屏的整体显示性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸发 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种真空蒸发源装置，其特征在于，包括蒸镀坩埚和设置于所述蒸镀坩埚出口处的第一盖板和第二盖板，所述第一盖板上设置有多个贯穿其厚度方向且均匀分布的第一过孔，所述第二盖板上设置有与所述第一过孔一一对应的第二过孔；所述第二盖板可相对第一盖板沿所述第一盖板延伸方向位置可调地叠置于所述第一盖板上，每一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积大小与另一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积大小相同，当所述第二盖板相对于第一盖板移动时实现对每一对相互对应的第一过孔和第二过孔之间的重合面积的调节。
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