[发明专利]一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法

摘要

一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，使用碘化法生产的纯度为99.9％以上的海绵钛为原料，采用电子束冷床炉熔炼获得高纯钛毛坯(纯度在99.95％以上)，对钛毛坯铣面并精修磨后对钛方坯切头，再切成锻造毛坯所要求的尺寸，对锻造毛坯探伤，将合格的锻造毛坯加热至980～1020℃，采用三镦三拔对锻造毛坯进行锻造，在终拔时将锻件模锻成所需规格棒材，并对锻件退火后车除棒材表面氧化皮，去除两头的锻帽后再锯切成所需规格的小柱块；车光小柱块的两锯切端面，对底部内车铣，预留出边缘，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝，进一步清理后得到圆柱形钛溅射靶材。本发明生产的靶材纯度不小于99.95％，晶粒尺寸控制在100μm以下，可满足溅射靶材的技术要求。

主权项

一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)用碘化法生产的纯度为99.9％以上的海绵钛作为原料，将海绵钛装进电子束冷床炉的进料器即阿基米德螺旋筒中，将进料器装至电子束冷床炉的进料系统中，对电子束冷床炉的进料系统及熔炼系统抽真空，并对电子枪的扫描图形进行设置，至进料系统和熔炼系统的主熔炼室真空度≤0.02Pa时，开启进料系统将海绵钛料加进主熔炼室熔炼冷床上，开启电子枪将原料熔化成为钛液，钛液流经初精炼冷床、主精炼冷床后，流进矩形拉晶坩埚，得到铸锭，将铸锭冷却出炉，即获得纯度为99.95％以上钛毛坯；(2)对钛毛坯进行铣面后对表面进行精修磨，修磨完成后对钛方坯切头，将切头完成后的方坯切成锻造毛坯所要求的尺寸，对锻造毛坯进行超声波探伤，剔除有缺陷的锻造毛坯；(3)将合格的锻造毛坯加热，加热温度为980～1020℃，采用三镦三拔工艺对锻造毛坯进行锻造，即初锻、初拔、中锻、中拔、终锻、终拔；在终拔工艺时用柱形模具将锻件模锻成所需规格棒材，并对锻件进行退火；(4)车除经模锻后的棒材表面的氧化皮，将两头的锻帽去除后，再锯切成所需规格的小柱块；(5)对小柱块的两锯切端面进行车光，取任一端面作为底面，并对底部进行内车铣，预留出边缘，内车铣完成后，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝；(6)将上述机加工完毕的柱块进行清理，得到圆柱形钛溅射靶材。