[发明专利]一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法

权利要求书

1.一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)用碘化法生产的纯度为99.9％以上的海绵钛作为原料，将海绵钛装进电子束冷床炉的进料器即阿基米德螺旋筒中，将进料器装至电子束冷床炉的进料系统中，对电子束冷床炉的进料系统及熔炼系统抽真空，并对电子枪的扫描图形进行设置，至进料系统和熔炼系统的主熔炼室真空度≤0.02Pa时，开启进料系统将海绵钛料加进主熔炼室熔炼冷床上，开启电子枪将原料熔化成为钛液，钛液流经初精炼冷床、主精炼冷床后，流进矩形拉晶坩埚，得到铸锭，将铸锭冷却出炉，即获得纯度为99.95％以上钛毛坯；

(2)对钛毛坯进行铣面后对表面进行精修磨，修磨完成后对钛方坯切头，将切头完成后的方坯切成锻造毛坯所要求的尺寸，对锻造毛坯进行超声波探伤，剔除有缺陷的锻造毛坯；

(3)将合格的锻造毛坯加热，加热温度为980～1020℃，采用三镦三拔工艺对锻造毛坯进行锻造，即初锻、初拔、中锻、中拔、终锻、终拔；在终拔工艺时用柱形模具将锻件模锻成所需规格棒材，并对锻件进行退火；

(4)车除经模锻后的棒材表面的氧化皮，将两头的锻帽去除后，再锯切成所需规格的小柱块；

(5)对小柱块的两锯切端面进行车光，取任一端面作为底面，并对底部进行内车铣，预留出边缘，内车铣完成后，对预留边缘倒角，再对另一端部开丝；

(6)将上述机加工完毕的柱块进行清理，得到圆柱形钛溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，步骤(1)所述的电子束冷床炉的电子枪熔炼功率控制在900～1200kW，初精炼冷床的功率为150～250kW，主精炼冷床的功率为300～500kW，拉晶坩埚的拉晶速度为800～1200kg/h。

3.根据权利要求1所述的一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，步骤(2)所述的铣面深度为3～5mm，对经过铣面后的四边进行45°倒角处理，经过切割后的锻造毛坯的高宽比为1.4～1.6。

4.根据权利要求1所述的一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，步骤(3)所述的三镦三拔工艺，初锻要求变形量达80％以上，使晶粒充分破碎；对锻件的退火温度550～650℃，退火时间为120～360min。

5.根据权利要求1所述的一种圆柱形钛溅射靶材的生产方法，其特征在于，步骤(5)所述对小柱块进行内车铣，内车的深度为2～4mm，边缘与内车铣面的过渡边角度为120～150°，边缘的倒角为45°。