[发明专利]二氧化硅微透镜及其制造方法有效
| 申请号： | 201510553805.3 | 申请日： | 2015-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN105204097B | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 田亮;尹小杰;张家顺;安俊明 | 申请（专利权）人： | 河南仕佳光子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司41125 | 代理人： | 张绍琳,孙诗雨 |
| 地址： | 458000 河南省鹤*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二氧化硅微透镜及其制造方法，包括基底层和透镜层，透镜层位于基底层的正面上，还包括增透层Ⅰ和增透层Ⅱ，所述增透层Ⅰ覆盖于透镜层的表面，增透层Ⅱ覆盖于基底层的背面；所述透镜层包括第一透镜层和第二透镜层，第二透镜层包裹在第一透镜层上，且通过高温回流融合为一体。透镜层材料选择掺杂硼、磷的二氧化硅材料，这种材料在高温回流时具有良好的流动性，第二透镜层包覆于圆台形状的第一透镜层上，通过高温回流两者可以完全地熔合为一体，并自然形成平凸型结构。保证微透镜整体具有折射率一致性。本发明透镜面形较好、阵列填充因子较高、可靠性较高，工艺简单、成本较低、产品一致性较好、适合大规模生产等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 透镜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种二氧化硅微透镜，包括基底层（3）和透镜层（2），透镜层（2）位于基底层（3）的正面上，其特征在于：还包括增透层Ⅰ（1）和增透层Ⅱ（4），所述增透层Ⅰ（1）覆盖于透镜层（2）的表面，增透层Ⅱ（4）覆盖于基底层（3）的背面；所述透镜层（2）包括第一透镜层（2‑2）和第二透镜层（2‑4），第二透镜层（2‑4）包裹在第一透镜层（2‑2）上，且通过高温回流融合为一体；所述基底层（3）的材料为石英玻璃材料；所述透镜层（2）的材料为掺硼、磷的二氧化硅材料，所述增透层Ⅰ（1）和增透层Ⅱ（4）的材料为氟化镁材料。
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