[发明专利]检测装置、测量装置、曝光装置、物品制造方法和测量方法有效
| 申请号： | 201510553038.6 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105467771B | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 赤松昭郎 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 宿小猛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及检测装置、测量装置、曝光装置、物品制造方法和测量方法。该检测装置检测原件或原件基准部件上的原件标记和基板或基板基准部件上的基板标记，该原件标记和基板标记经由投影光学系统被布置，该装置包括光学系统，光学系统包括成像设备，并且该光学系统被配置为在该成像设备上形成原件标记的图像和基板标记的图像，其中该光学系统包括具有第一标记和第二标记的检测基准部件，并且该光学系统被配置为在该原件或原件基准部件上形成第一标记的图像，和经由该投影光学系统和该原件或原件基准部件在该基板或基板基准部件上形成第二标记的图像，和在该成像设备上形成原件标记的图像、基板标记的图像、第一标记的图像和第二标记的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 测量 曝光 物品 制造 方法 测量方法 | ||
【主权项】：
一种检测装置，检测原件或原件基准部件上的原件标记与基板或基板基准部件上的基板标记，所述原件标记和基板标记经由投影光学系统被布置，其特征在于，所述装置包括：光学系统，包括成像设备，并且所述光学系统被配置为在所述成像设备上形成原件标记的图像和基板标记的图像，其中所述光学系统包括具有第一标记和第二标记的检测基准部件，并且所述光学系统被配置为：在所述原件或原件基准部件上形成第一标记的图像，以及经由所述投影光学系统和所述原件或原件基准部件在所述基板或基板基准部件上形成第二标记的图像，以及在所述成像设备上形成原件标记的图像、基板标记的图像、所形成的第一标记的图像的图像和所形成的第二标记的图像的图像。
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