[发明专利]荧光纳米标准板的制备方法有效
申请号: | 201510551458.0 | 申请日: | 2015-09-01 |
公开(公告)号: | CN105203508B | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 蒋克明;黎海文;周武平;张涛;刘聪 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 |
主分类号: | G01N21/64 | 分类号: | G01N21/64 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 215163 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本案涉及荧光纳米标准板的制备方法,包括:1)采用电子束蒸发法或磁控溅射法在基底层表面形成金属层;2)在金属层表面旋涂光刻胶层;利用电子束光刻法对光刻胶层等间距曝光,显影后形成等间距的光刻胶线条;3)将光刻胶线条浸泡于硅烷化试剂中进行表面硅烷化处理,形成硅烷层;4)将硅烷层浸泡于荧光染料溶液中反应30min以在硅烷层的表面修饰荧光染料层;5)在荧光染料层表面旋涂透明保护层。本制备方法步骤少,工艺简单,反应条件温和无污染,工艺重现性好;通过精确调整荧光纳米标准板的结构尺寸,实现荧光线条结构的整齐排列,直观地反应出系统的分辨能力;同时,这种结构的标准板能够实现批量制作,稳定性高,分辨率高。 | ||
搜索关键词: | 荧光 纳米 标准 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种荧光纳米标准板的制备方法,包括:步骤1)采用电子束蒸发法或磁控溅射法在基底层表面形成一层金属层;步骤2)在所述金属层表面旋涂光刻胶层;利用电子束光刻法对光刻胶层等间距曝光,显影后形成等间距的光刻胶线条;步骤3)将所述光刻胶线条浸泡于硅烷化试剂中进行表面硅烷化处理,在光刻胶线条表面形成硅烷层;步骤4)将所述硅烷层浸泡于荧光染料溶液中反应30min以在所述硅烷层的表面修饰荧光染料层;用乙醇冲洗后,氮气吹干;步骤5)在所述荧光染料层表面旋涂用于保护荧光染料的透明保护层。
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