[发明专利]基于相对位置测量的对准系统、双工件台系统及测量系统

摘要

本发明提供了一种基于相对位置测量的对准系统、双工件台系统及测量系统，其中，基于相对位置测量的对准系统包括主框架、对准传感器、光强信号采集处理模块、反射镜、工件台、位于工件台上的硅片上的对准标记、位置采集模块、及对准操作与管理模块。位置采集模块同时采集从工件台及反射镜获取的位置数据，而所述反射镜位于所述对准传感器上，即，同时采集所述对准传感器与所述工件台的位置数据，通过处理可得到所述工件台相对于所述对准传感器无振动时的相对位置。即，可得到所述对准传感器相对振幅为零时对准标记的对准位置，从而避免了所述对准传感器的震动的影响，提高了对准重复精度。

主权项

一种基于相对位置测量的对准系统，其特征在于，包括：主框架；对准传感器，所述对准传感器固定在所述主框架上；光强信号采集处理模块，所述光强信号采集处理模块获取所述对准传感器输出的光信号，将所述光信号转换成数字电信号，并输出所述数字电信号；反射镜，所述反射镜设置于所述对准传感器上；工件台，所述对准传感器悬浮于所述工件台的上方，所述工件台用于放置一硅片，所述硅片包括一对准标记；位置采集模块，所述位置采集模块获取所述反射镜及所述工件台的位置数据，输出所述反射镜及所述工件台的相对位置数据；及对准操作与管理模块，所述对准操作与管理模块获取所述数字电信号及所述相对位置数据并处理，计算出所述对准标记的对准位置。