[发明专利]一种三族氮化物晶体生长装置有效
| 申请号： | 201510550420.1 | 申请日： | 2015-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN105113004B | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 巫永鹏;李成明;刘南柳;陈蛟;罗睿宏;李顺峰;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B7/14 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 罗晓林 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种三族氮化物晶体生长装置，包括反应釜，该反应釜内设有晶种模板，所述反应釜与滚动驱动装置连接，该滚动驱动装置带动反应釜转动，滚动驱动装置带动反应釜水平方向滚动，或者与水平方向成倾斜角度方向滚动。本发明有效克服了传统反应装置生长氮化物晶体过程中，N源不足的缺点，可有效避免氮化物晶体存在N空位、晶体质量差、生长速率低等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
一种三族氮化物晶体生长装置，包括反应釜，该反应釜内设有晶种模板，其特征在于，所述反应釜设置为圆柱形状，反应釜与滚动驱动装置连接，该滚动驱动装置带动反应釜圆周转动，滚动驱动装置带动反应釜水平方向滚动，或者与水平方向成倾斜角度方向滚动，晶种模板设为一个并且该晶种模板不跟随反应釜运动，在反应过程中，生长溶液始终浸泡着晶种模板。
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