[发明专利]一种三族氮化物晶体生长装置

权利要求书

1.一种三族氮化物晶体生长装置，包括反应釜，该反应釜内设有晶种模板，其特征在于，所述反应釜设置为圆柱形状，反应釜与滚动驱动装置连接，该滚动驱动装置带动反应釜圆周转动，滚动驱动装置带动反应釜水平方向滚动，或者与水平方向成倾斜角度方向滚动，晶种模板设为一个并且该晶种模板不跟随反应釜运动，在反应过程中，生长溶液始终浸泡着晶种模板。

2.根据权利要求 1 所述的三族氮化物晶体生长装置，其特征在于，所述反应釜的轴线方向的两端侧设置有滚动轴，该滚动轴与滚动驱动装置连接。

3.根据权利要求 1 所述的三族氮化物晶体生长装置，其特征在于，所述反应釜上装设有传动带，反应釜通过该传动带与滚动驱动装置连接。

4.根据权利要求 1所述的三族氮化物晶体生长装置，其特征在于，所述反应釜的外壁上设有导轮，该导轮与滚动驱动装置连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的三族氮化物晶体生长装置，其特征在于，所述反应釜的内壁为但不限于表面平整的内壁，或者具有突起块的内壁，或者设有挡片的内壁，或者是螺纹内壁。