[发明专利]一种涂布装置及其清除异物误报的方法

摘要

本发明提供一种涂布装置，包括：涂布基台；涂布机构，用于涂布光刻胶；异物检传感器，用于检测异物，将检测到的所光学信号发送至图像传感器；图像传感器，用于接收所述异物检传感器发送的所述光学信号，并将所述光学信号转换成图像信号发送至显示屏；显示屏，用于接收并显示所述图像传感器发送的所述图像信号。该装置可以避免异物误报。本发明另外提供一种涂布装置的清除异物误报的方法，包括：异物检传感器检测物体的光学信号，并将其发送至所述图像传感器；图像传感器将接收到的所述光学信号转换成图像信号发送至所述显示屏；显示屏将接收到的所述图像信号显示出来，供工作人员判断。该方法有效地避免了时间和光刻胶的损失。

主权项

一种涂布装置，其特征在于，包括：涂布基台，用于承载玻璃基板；涂布机构，用于在所述玻璃基板上涂布光刻胶；异物检传感器，用于检测所述玻璃基板上的物体，将检测到的所述玻璃基板上的物体的光学信号发送至图像传感器，并在检测到的所述光学信号的光量值低于设定的阈值时报警；图像传感器，用于接收所述异物检传感器发送的所述光学信号，并将所述光学信号转换成图像信号发送至显示屏；以及显示屏，用于接收并显示所述图像传感器发送的所述图像信号。