[发明专利]微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法

摘要

本发明提出一种微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法，包括激励信号源；基座；三轴微动平台，与基座固定相连，用于对微机电系统MEMS磁通门磁强计的位置进行调整；芯片固定装置，用于固定微机电系统MEMS磁通门磁强计，其设置在三轴微动平台的顶部，以跟随三轴微动平台移动；探针卡，分别与基座、激励信号源和微机电系统MEMS磁通门磁强计连接，用于在与微机电系统MEMS磁通门磁强计导通时，导出微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号；数据采集装置，与探针卡相连，用于采集输出信号；处理装置，与数据采集装置相连，用于接收微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号，并对输出信号进行锁相放大，以得到测试结果。本发明具有成本低、易于实现的优点。

主权项

一种微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统，其特征在于，包括：激励信号源，用于为所述测试系统提供激励信号；基座；三轴微动平台，所述三轴微动平台与所述基座固定相连，所述三轴微动平台用于对微机电系统MEMS磁通门磁强计的位置进行调整；芯片固定装置，所述芯片固定装置用于固定所述微机电系统MEMS磁通门磁强计，所述芯片固定装置设置在所述三轴微动平台的顶部，以跟随所述三轴微动平台移动；探针卡，所述探针卡分别与所述基座、激励信号源和所述微机电系统MEMS磁通门磁强计连接，用于在与所述微机电系统MEMS磁通门磁强计导通时，导出所述微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号；数据采集装置，所述数据采集装置与所述探针卡相连，用于采集所述微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号；处理装置，所述处理装置与所述数据采集装置相连，用于接收所述微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号，并对所述输出信号进行锁相放大，以得到测试结果，其中，所述处理装置包括：控制模块和数字锁相放大器，所述控制模块用于控制所述数据采集装置采集所述微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号，所述数字锁相放大器用于提取所述微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号中的二倍频幅值。