[发明专利]一种光纤端面加工方法有效
申请号: | 201510521825.2 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN105044845A | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 | 申请(专利权)人: | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
主分类号: | G02B6/25 | 分类号: | G02B6/25;G03F7/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种光纤端面加工方法,包括以下步骤:(1)清洗光纤端面,吹片烘干;(2)在光纤端面涂光刻胶,形成均匀光刻胶层;(3)对光纤端面进行烘干;(4)进行激光自动对准,曝光形成反应池图形,显影,清洗,烘干;(5)使用干法刻蚀对光纤端面进行刻蚀,得到光纤端面反应池。本发明工艺简单,可操作性强,精确度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 光纤 端面 加工 方法 | ||
【主权项】:
一种光纤端面加工方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)清洗光纤端面,吹片烘干;(2)在光纤端面涂光刻胶,形成均匀光刻胶层;(3)对光纤端面进行烘干;(4)进行激光自动对准,曝光形成反应池图形,显影,清洗,烘干;(5)使用干法刻蚀对光纤端面进行刻蚀,得到光纤端面反应池。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科紫鑫科技有限责任公司,未经北京中科紫鑫科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510521825.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:基于液滴耦合的光纤分路器
- 下一篇:具有导向装置和输入装置的导光板加工装置