[发明专利]一种光纤端面加工方法有效
| 申请号： | 201510521825.2 | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN105044845A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B6/25 | 分类号： | G02B6/25;G03F7/20 |
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| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 端面 加工 方法 | ||
1.一种光纤端面加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）清洗光纤端面，吹片烘干；
（2）在光纤端面涂光刻胶，形成均匀光刻胶层；
（3）对光纤端面进行烘干；
（4）进行激光自动对准，曝光形成反应池图形，显影，清洗，烘干；
（5）使用干法刻蚀对光纤端面进行刻蚀，得到光纤端面反应池。
2.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述清洗先使用三乙醇胺，再使用水冲洗。
3.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述光纤为石英光纤。
4.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述涂光刻胶使用喷涂装置，优选为高压无气喷涂装置，喷出速度在100-110m/s以上，得到光刻胶的厚度为1-1.5μm。
5.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述光刻胶为PAC、线型酚醛树脂和溶剂组成；所述溶剂为四氢呋喃和乙酸乙酯。
6.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述光刻胶在使用时，用溶剂稀释5倍。
7.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述步骤（1）、（3）中烘干的温度为55-65℃，时间为15-30分钟；所述步骤（4）中烘干温度为130-135℃，时间为10-15分钟。
8.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述曝光为投影式曝光。
9.如权利要求1所述的光纤端面加工方法，其特征在于，所述刻蚀气体为三氟化氮和氧气。
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