[发明专利]光刻胶的去除方法有效
| 申请号： | 201510521796.X | 申请日： | 2015-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN105045051A | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 陈哲;张睿;王者馥;王绪敏;殷金龙;任鲁风 | 申请（专利权）人： | 北京中科紫鑫科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市大兴区经济技术*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了光刻胶的去除方法，包括以下步骤：（1）使用湿法刻蚀去除光刻胶；（2）使用酸溶液洗涤光纤面板的光刻胶残留；（3）加热碱溶液，使用碱溶液洗涤；（4）将使用碱溶液洗涤完的光纤面板放入水中，持续通入臭氧；（5）加入氯水；（6）使用有机溶剂浸泡。本发明能够分别去除光刻胶表层和底层部分，彻底去除光纤面板上的光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 去除 方法 | ||
【主权项】：
一种光刻胶的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：使用湿法刻蚀去除光刻胶；使用酸溶液洗涤光纤面板的光刻胶残留；加热碱溶液，使用碱溶液洗涤；将使用碱溶液洗涤完的光纤面板放入水中，持续通入臭氧；放入氯水中洗涤；使用有机溶剂浸泡。
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