[发明专利]一种悬臂梁偏转位移测量装置

摘要

一种悬臂梁偏转位移测量装置，包括一个悬臂梁安装在底座上，底座为绝缘体，悬臂梁为导电体，在悬臂梁的周围安装有至少一个金属探针，金属探针和悬臂梁之间留有距离。金属探针与悬臂梁相对各点作为正负两个电极，两电极在一定距离下会有隧道电流的产生，悬臂梁电极与金属电极之间的距离发生改变，隧道电流的大小也会改变，根据改变的大小将数据输入计算机，将事先对悬臂梁偏转各个角度进行数据收集，存入计算机，再通过计算机存储的角度与距离之间的关系从而得出悬臂梁1受到震动或者冲击时具体偏转的位移变化。那么在液体或气体中的改变也就会得出其相应的改变角度位移的多少了。

主权项

1.一种悬臂梁偏转位移测量装置，其特征是：一个悬臂梁安装在底座上，底座为绝缘体，悬臂梁为导电体，金属探针和悬臂梁之间留有距离；所述金属探针顶端垂直指向悬臂梁，金属探针顶端与悬臂梁之间的距离为0.01nm‑100nm，所述悬臂梁周围安装4‑12个金属探针，所述悬臂梁周围设有电极支架，所述金属探针通过电极支架安装在悬臂梁的周围，所述金属探针顶端尺寸为0.01nm‑100nm的针尖形状或近似于针尖形状的多面体或类似圆形；当金属探针与悬臂梁之间的距离在纳米级时，给这两个电极外加电压，金属探针与悬臂梁各作为正负两个电极，金属探针与悬臂梁电极之间将产生隧穿电流，且电流的大小与距离密切相关；当将该装置置于气体、水流、声音或者直接施加微纳力时，悬臂梁会发生偏转或者振动，从而金属探针与悬臂梁电极之间的距离就会改变，它们之间产生的隧穿电流也会发生改变，通过采集隧穿电流的大小，利用计算机程序算出金属探针与悬臂梁电极之间的距离的变化，再通过计算机存储的角度与距离之间的关系从而得出悬臂梁受到震动或者冲击时具体偏转的位移变化。