[发明专利]一种悬臂梁偏转位移测量装置

权利要求书

1.一种悬臂梁偏转位移测量装置，其特征是：一个悬臂梁安装在底座上，底座为绝缘体，悬臂梁为导电体，金属探针和悬臂梁之间留有距离；所述金属探针顶端垂直指向悬臂梁，金属探针顶端与悬臂梁之间的距离为0.01nm-100nm，所述悬臂梁周围安装4-12个金属探针，所述悬臂梁周围设有电极支架，所述金属探针通过电极支架安装在悬臂梁的周围，所述金属探针顶端尺寸为0.01nm-100nm的针尖形状或近似于针尖形状的多面体或类似圆形；

当金属探针与悬臂梁之间的距离在纳米级时，给这两个电极外加电压，金属探针与悬臂梁各作为正负两个电极，金属探针与悬臂梁电极之间将产生隧穿电流，且电流的大小与距离密切相关；当将该装置置于气体、水流、声音或者直接施加微纳力时，悬臂梁会发生偏转或者振动，从而金属探针与悬臂梁电极之间的距离就会改变，它们之间产生的隧穿电流也会发生改变，通过采集隧穿电流的大小，利用计算机程序算出金属探针与悬臂梁电极之间的距离的变化，再通过计算机存储的角度与距离之间的关系从而得出悬臂梁受到震动或者冲击时具体偏转的位移变化。

2.根据权利要求1所述的一种悬臂梁偏转位移测量装置，其特征是，所述导电体包括导电材料的导电体，或者不导电材料表面粘贴或涂有金属薄膜的导电体。

3.根据权利要求1所述的一种悬臂梁偏转位移测量装置，其特征是，所述金属探针材料为铂金、钨、铱，或为铂金、钨、铱的合金材料。

4.根据权利要求1所述的一种悬臂梁偏转位移测量装置，其特征是，所述悬臂梁的截面形状为圆形、椭圆形、卵形、规则多边形或不规则多边形。