[发明专利]电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法

摘要

本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。

主权项

一种粒子光学排布结构，所述粒子光学排布结构包括：至少一个带电粒子源，其被配置为生成一束带电粒子；至少一块多孔板，其具有形成在所述多孔板中的多个孔，其中，所述排布结构被配置为使得在所述多孔板的下游从所述一束带电粒子形成多个带电粒子分束，并且使得所述多个带电粒子分束中的每一个在所述多孔板的聚焦区中具有焦点；以及物镜，其用于将所述多孔板的聚焦区成像到能够定位在所述粒子光学排布结构的物面中的物体上；其特征在于：场透镜，其被配置为生成聚焦场，并且被布置为使得所述场透镜的所述聚焦场的位置与形成所述带电粒子分束的焦点的聚焦区相重合。