[发明专利]一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法

摘要

本发明涉及一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法，其抛光方法如下（1）预处理将蓝宝石衬底片贴合至硬质陶瓷盘，安装于抛光机设备主轴；将抛光垫装于旋转底盘上；将反渗透纯水与二氧化硅抛光液混合加入抛光机内，液位保持在抛光液上限液位线和抛光液下限液位线之间；（2）抛光启动抛光机，进行蓝宝石衬底片抛光，抛光的加工时长为40～80min，得抛光好的蓝宝石衬底片；（3）清洗得蓝宝石衬底片成品；本发明不仅具有抛光过程中抛光垫表面温度温升小，抛光垫、吸附垫使用寿命长，同时，抛光过程中蓝宝石衬底片表面无微划痕的化学机械抛光方法。

主权项

一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法，其特征为，其抛光方法如下：（1）预处理①将铜抛后清洗干净的蓝宝石衬底片用吸附垫贴合在硬质陶瓷盘上，随后将贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘放在反渗透纯水中浸泡15分钟，此时检查蓝宝石衬底片下有无气泡和颗粒物，得贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘；②将贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘安装于抛光机设备主轴上，并用卡扣卡死固定，将抛光垫贴合于旋转底盘上；③将反渗透纯水与二氧化硅抛光液混合得混合液，反渗透纯水与二氧化硅抛光液的体积比为5:2，随后将混合液加入抛光机内，混合液液位保持在抛光液上限液位线和抛光液下限液位线之间,所述抛光液上限液位线高度为H1，抛光液下限液位线高度为H2，硬质陶瓷盘直径为d，0.8d≦H2＜H1≦d；（2）抛光①调节抛光机的主轴与旋转底盘之间的压力为0.6～1.8 kg/cm2，并将抛光机主轴转速设定为80～120 rpm，将旋转底盘转速设定为40～80 rpm；②启动抛光机，进行蓝宝石衬底片抛光，抛光过程中蓝宝石衬底片为垂直放置，吸附垫、蓝宝石衬底片、抛光垫均浸没在反渗透纯水与二氧化硅抛光液混合的混合液内，抛光的加工时长为40～80min，得抛光好的蓝宝石衬底片；（3）清洗①将步骤（2）②所得抛光好的蓝宝石衬底片和硬质陶瓷盘取下，放入反渗透纯水中浸泡30分钟后取出抛光好的蓝宝石衬底片，随后用反渗透纯水冲洗抛光好的蓝宝石衬底片2分钟，得清洗好的蓝宝石衬底片；②将清洗好的蓝宝石衬底片从硬质陶瓷盘上取下，放入晶片盒内，得蓝宝石衬底片成品。