[发明专利]一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底片浸没式化学机械抛光方法，其特征为，其抛光方法如下：

（1）预处理

①将铜抛后清洗干净的蓝宝石衬底片用吸附垫贴合在硬质陶瓷盘上，随后将贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘放在反渗透纯水中浸泡15分钟，此时检查蓝宝石衬底片下有无气泡和颗粒物，得贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘；

②将贴好蓝宝石衬底片的硬质陶瓷盘安装于抛光机设备主轴上，并用卡扣卡死固定，将抛光垫贴合于旋转底盘上；

③将反渗透纯水与二氧化硅抛光液混合得混合液，反渗透纯水与二氧化硅抛光液的体积比为5:2，随后将混合液加入抛光机内，混合液液位保持在抛光液上限液位线和抛光液下限液位线之间,所述抛光液上限液位线高度为H1，抛光液下限液位线高度为H2，硬质陶瓷盘直径为d，0.8d≦H2＜H1≦d；

（2）抛光

①调节抛光机的主轴与旋转底盘之间的压力为0.6～1.8 kg/cm²，并将抛光机主轴转速设定为80～120 rpm，将旋转底盘转速设定为40～80 rpm；

②启动抛光机，进行蓝宝石衬底片抛光，抛光过程中蓝宝石衬底片为垂直放置，吸附垫、蓝宝石衬底片、抛光垫均浸没在反渗透纯水与二氧化硅抛光液混合的混合液内，抛光的加工时长为40～80min，得抛光好的蓝宝石衬底片；

（3）清洗

①将步骤（2）②所得抛光好的蓝宝石衬底片和硬质陶瓷盘取下，放入反渗透纯水中浸泡30分钟后取出抛光好的蓝宝石衬底片，随后用反渗透纯水冲洗抛光好的蓝宝石衬底片2分钟，得清洗好的蓝宝石衬底片；

②将清洗好的蓝宝石衬底片从硬质陶瓷盘上取下，放入晶片盒内，得蓝宝石衬底片成品。