[发明专利]长晶炉设备

摘要

一种长晶炉设备，包含一炉体；一坩埚，设置于该炉体中；一第一加热器，位于该炉体与该坩埚顶部之间；及一第二加热器，位于该炉体与该坩埚底部之间；其中，该第一加热器与该第二加热器皆包括多个能拆换的加热元件，且该多个加热元件中的至少一加热元件的输出功率与其他加热元件的输出功率不相同。本发明于有限长晶炉空间中摒弃侧向加热器，主要以第一、第二加热器的变化与排列组合增加热场内对流，使长晶炉内热场最佳化，使其不易沉积碳化硅在晶碇内，有助晶碇长度与良率的产出，进而达到增加晶碇品质并降低制造成本的优势。

主权项

一种长晶炉设备，其特征在于，包含：一个炉体、一个设置于该炉体中的坩埚、一个位于该炉体与该坩埚顶部之间的第一加热器、一个位于该炉体与该坩埚底部之间的第二加热器，该第一加热器与该第二加热器皆包括多个能拆换的加热元件，且该多个加热元件中的至少一个加热元件的输出功率与其他加热元件的输出功率不相同。