[发明专利]长晶炉设备

权利要求书

1.一种长晶炉设备，其特征在于，包含：一个炉体、一个设置于该炉体中的坩埚、一个位于该炉体与该坩埚顶部之间的第一加热器、一个位于该炉体与该坩埚底部之间的第二加热器，该第一加热器与该第二加热器皆包括多个能拆换的加热元件，且该多个加热元件中的至少一个加热元件的输出功率与其他加热元件的输出功率不相同。

2.如权利要求1所述的长晶炉设备，其特征在于：该第一加热器具有一个第一加热器侧壁，该第一加热器的该多个加热元件中，其中多个加热元件邻近该第一加热器侧壁，其他加热元件位于邻近该第一加热器侧壁的该多个加热元件之间，邻近该第一加热器侧壁的该多个加热元件的输出功率大于其他加热元件的输出功率。

3.如权利要求1所述的长晶炉设备，其特征在于：该第二加热器具有一个第二加热器侧壁，该第二加热器的该多个加热元件中，其中多个加热元件邻近该第二加热器侧壁，其他加热元件位于邻近该第二加热器侧壁的该多个加热元件之间，邻近该第二加热器侧壁的该多个加热元件的输出功率大于其他加热元件的输出功率。

4.如权利要求1至3中任一权利要求所述的长晶炉设备，其特征在于：该第一加热器的该多个加热元件的位置与尺寸大小分别对应该第二加热器的该多个加热元件的位置与尺寸大小。

5.如权利要求1至3中任一权利要求所述的长晶炉设备，其特征在于：该第一加热器的该多个加热元件中的至少一个加热元件的输出功率与该第一加热器的其他加热元件的输出功率不相同，该第二加热器的该多个加热元件中的至少一个加热元件的输出功率与该第二加热器的其他加热元件的输出功率不相同。

6.如权利要求1所述的长晶炉设备，其特征在于：每一个加热元件为一个长条状的加热棒。

7.如权利要求6所述的长晶炉设备，其特征在于：该多个加热元件中的至少一个加热元件的直径与其他加热元件的直径不相同。

8.如权利要求7所述的长晶炉设备，其特征在于：所述至少一个加热元件的直径为20mm～50mm，所述其他加热元件的直径为5mm～30mm。

9.如权利要求5所述的长晶炉设备，其特征在于：该第一加热器的该多个加热元件中的至少一个加热元件的直径与该第一加热器的其他加热元件的直径不相同；该第二加热器的该多个加热元件中的至少一个加热元件的直径与该第二加热器的其他加热元件的直径不相同。

10.如权利要求1所述的长晶炉设备，其特征在于：该第一加热器与该第二加热器中的其中至少一个的外形为对称结构。