[发明专利]多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备在审
| 申请号： | 201510485222.1 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN105369337A | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周庆松;郭富强;乐涛;陈良;韩小风;李玟澄 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D17/10 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 刘化帅 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多阳极控制装置及具有该装置的电镀设备，搭配电性连接于基板一边的阴极连接件使用，多阳极控制装置包括：一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数阳极网；以及分别电性连接于各阳极网的一供电控制模块，用以对各阳极网分别供电并分别产生所需的电流密度。以此，以使各阳极网所分别获得的电流密度，与基板不同位置所获得的阴极电彼此互补。 | ||
| 搜索关键词： | 阳极 控制 装置 具有 电镀 设备 | ||
【主权项】：
一种多阳极控制装置，搭配一阴极连接件使用，所述阴极连接件电性连接于基板的一边，其特征在于，该多阳极控制装置包括：一阳极模块，包含彼此并排且之间相隔一间距的多数个阳极网；以及一供电控制模块，分别电性连接于各该阳极网，该供电控制模块对各该阳极网分别供电，以在各该阳极网分别产生所需的电流密度。
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