[发明专利]曝光机有效
| 申请号： | 201510470557.6 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN105093847B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 孟小龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518006 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曝光机，包括一光源、透镜组、一蝇眼、一光纤变换单元、一通路开关、一光通狭缝以及一放大光路，光源发出的入射光依次经过透镜组、蝇眼到达光线变换单元，入射光经光纤变换单元转换成曝光需要的任意形状的出射光。通过上述方式，本发明曝光机的入射光经光纤变换单元转换成曝光需要的任意形状的出射光，可大幅度提高曝光时的照度且减少光照到光通狭缝的非有效区域所导致的温度升高，另外还可以通过调节光通狭缝的宽度来调节照度，提高机台光源的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 | ||
【主权项】：
一种曝光机，包括一光源、透镜组、一蝇眼、一光纤变换单元、一通路开关、一光通狭缝以及一放大光路，所述光源发出的入射光依次经过所述透镜组、所述蝇眼到达所述光纤变换单元，所述光纤变换单元的接收端朝向所述蝇眼以接收所述入射光，所述光纤变换单元的输出端朝向所述通路开关，所述入射光经光纤变换单元转换成曝光需要的任意形状的出射光，通路开关打开，所述出射光经所述光通狭缝射出至所述放大光路；所述光纤变换单元的接收端为方形，所述光纤变换单元的输出端为弧形。
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