[发明专利]曝光机

权利要求书

1.一种曝光机，包括一光源、透镜组、一蝇眼、一光纤变换单元、一通路开关、一光通狭缝以及一放大光路，所述光源发出的入射光依次经过所述透镜组、所述蝇眼到达所述光纤变换单元，所述光纤变换单元的接收端朝向所述蝇眼以接收所述入射光，所述光纤变换单元的输出端朝向所述通路开关，所述入射光经光纤变换单元转换成曝光需要的任意形状的出射光，通路开关打开，所述出射光经所述光通狭缝射出至所述放大光路；所述光纤变换单元的接收端为方形，所述光纤变换单元的输出端为弧形。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述放大光路包括第一凹面镜、第二凹面镜及反射镜，进入所述放大光路的所述出射光依次经过所述第一凹面镜、所述反射镜和所述第二凹面镜后从所述放大光路出射，所述光纤变换单元的输出端的弧形的曲率与所述第一凹面镜的曲率一致。

3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述光纤变化单元的输出端的弧形宽度大于所述光通狭缝的宽度。

4.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述曝光机还包括一照度传感器，所述照度传感器位于所述光纤变换单元的输出端与所述通路开关之间，所述照度传感器监测所述光纤变化单元的输出端的光强。

5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述曝光机还包括设于所述光纤变换单元的输出端的一准直器及一准直透镜，所述准直器及准直透镜监测所述出射光的平行度。

6.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述透镜组包括依次间隔排列的一滤光镜、一延迟透镜以及第一聚光镜。

7.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于：所述蝇眼与所述光纤变换单元的接收端之间还设有一第二聚光镜。

8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述曝光机还包括 一设于光源前方的滤光片以及一反射镜，所述光源发出的入射光经滤光片入射至所述反射镜，所述反射镜将所述光反射至所述透镜组。

9.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述入射光为方形，所述出射光为弧形。