[发明专利]一种半导体功率器件瞬态热阻测试装置及方法

摘要

本发明提供一种半导体功率器件瞬态热阻测试装置及方法，包括依序相连的处理器、信号分配及采样电路和电流脉冲产生电路；信号分配及采样电路还与被测器件的输出端相连，用于根据处理器指令，确定输出当前电压脉冲，并采样被测器件热阻信息反馈给处理器；电压脉冲包括第一、第二电压脉冲；电流脉冲产生电路还与被测器件的输入端相连，用于根据当前电压脉冲，确定加载于被测器件上的当前电流脉冲，驱动被测器件产生的热阻信息；电流脉冲包括对应第一电压脉冲的加热电流脉冲和对应第二电压脉冲的热敏电流脉冲。实施本发明，能够实现通过被测器件强加热电流和弱热敏电流的强弱电分离、控制信号与数据分离，提高被测器件瞬态热阻的测试结果的准确性和精确度。

主权项

一种半导体功率器件瞬态热阻测试装置，其与被测器件相配合，其特征在于，所述测试装置包括处理器、信号分配及采样电路和电流脉冲产生电路；其中，所述处理器与所述信号分配电路的第一端相连，用于向所述信号分配及采样电路发送指令； 所述信号分配及采样电路的第二端与所述电流脉冲产生电路的输入端相连，第三端与所述被测器件的输出端相连，用于获取所述处理器输出的指令，根据所述获取到的指令，确定输出给所述电流脉冲产生电路的当前电压脉冲，且进一步将采样到所述被测器件对应于当前电压脉冲的热阻信息反馈给所述处理器进行分析处理；其中，所述电压脉冲包括第一电压脉冲和第二电压脉冲；所述电流脉冲产生电路的输出端与所述被测器件的输入端相连，用于获取所述信号分配及采样电路输出的当前电压脉冲，根据所述获取到的当前电压脉冲，确定加载于所述被测器件上的当前电流脉冲，驱动所述被测器件对应于当前电流脉冲产生相关的热阻信息；其中，所述电流脉冲包括加热电流脉冲和热敏电流脉冲；当所述获取到的当前电压脉冲为所述第一电压脉冲时，确定当前电流脉冲为所述加热电流脉冲；当所述获取到的当前电压脉冲为所述第二电压脉冲时，确定当前电流脉冲为所述热敏电流脉冲。