[发明专利]一种CT结构太赫兹交叉耦合波导滤波器

摘要

本发明公开了一种CT结构太赫兹交叉耦合波导滤波器，属于太赫兹技术领域。该滤波器基于传统的CT结构，利用TE102模，能在阻带低端产生传输零点。该滤波器包括过渡、矩形谐振腔以及耦合膜片，并基于竖直方向被划分为三层，其中每层均能避免孤岛结构的产生。本发明提供的滤波器在太赫兹频段实现了交叉耦合，结构简单，新颖，且通带内回波损耗低，插入损耗小，阻带抑制性能好，尤其适用于SU‑8等分层厚膜工艺对其进行加工。

主权项

一种CT结构太赫兹交叉耦合波导滤波器，由上至下包括上层、中层及下层结构，其特征在于，所述上层结构包括输入波导(101)，输出波导(105)；所述中层结构包括交叉耦合膜片(104)，第一矩形谐振腔(201)、第二矩形谐振腔(202)、第三矩形谐振腔(203)的上部；所述下层结构包括第一耦合膜片(102)、第二耦合膜片(103)，第一矩形谐振腔(201)、第二矩形谐振腔(202)、第三矩形谐振腔(203)的下部；所述第一矩形谐振腔(201)、第二矩形谐振腔(202)、第三矩形谐振腔(203)的上部和相应下部上下盖合构成完整的谐振腔体；输入波导(101)和输出波导(105)、第一矩形谐振腔(201)和第三矩形谐振腔(203)、第一耦合膜片(102)和第二耦合膜片(103)分别为左右对称形式；所述输入波导(101)的一端为滤波器的输入端，其另一端通过设置在其宽边所在面上的耦合窗与第一矩形谐振腔(201)上部的上表面的一端连接，第一矩形谐振腔(201)上部远离输入波导(101)一端的侧面通过交叉耦合膜片(104)与第三矩形谐振腔(203)的上部侧面连接，所述第一矩形谐振腔(201)的下部另一侧面通过第一耦合膜片(102)与第二矩形谐振腔(202)的下部侧面连接；所述第三矩形谐振腔(203)的下部另一侧面通过第二耦合膜片(103)与第二矩形谐振腔(202)的下部侧面连接，第一耦合膜片(102)、第二耦合膜片(103)连接于第二矩形谐振腔的同一侧面上；第三矩形谐振腔(203)的上部通过设置在其远离交叉耦合膜片(104)一端的上表面上的耦合窗与输出波导(105)宽边所在下表面的一端连接；输出波导(105)的另一端即为滤波器的输出端；所述第二矩形谐振腔(202)工作于TE102模，第一矩形谐振腔(201)和第三矩形谐振腔(203)工作在TE101模。